一、工作原理

兆声波清洗法是一种利用高频声波产生微小气泡并在物体表面爆炸来清洗的技术。在清洗过程中，将清洗液注入清洗槽中，然后通过超声波振荡器产生高频声波，使清洗液中的液体分子振动，形成微小气泡。这些微小气泡在物体表面爆炸时，能够产生强大的冲击力，有效去除污渍和微粒。

二、应用领域

兆声波清洗法在半导体、微电子和纳米科技等领域得到了广泛应用。在半导体制造过程中，兆声波清洗法可以用于去除晶圆表面的污染物和残留物，提高晶圆的质量和可靠性。在微电子和纳米科技领域，兆声波清洗法可以用于清洗微小器件和纳米材料，保证器件和材料的性能和稳定性。

三、类别

1  槽式兆声清洗  喷淋式兆声清洗喷头   贴合式兆声清洗系统 

一般兆声清洗适于清除的颗粒大小为0.1~0.3 μm，超声清洗适于清除的颗粒大小在 0.4 μm 以上。兆声清洗的作用更加温和。

1MHz超高频超声波
• 声场均匀，声强可超过6W/cm2
• 不锈钢或石英材质振板
• 独特的换能器贴合技术，稳定性高，寿命更长
• 第二代半导体技术的兆声发生器

兆声频率1MHz, 950kHz 430KHZ
• 最大声强 5.5W/cm2
• 最大功率 1200-4800W
• 外壳材质 PVC
• 振板材质 316L不锈钢、石英
• 适合晶圆 6寸, 8寸, 12寸
• 液体温度 <70°C
• 环境温度 10-40°C

4、技术参数